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半導體廢氣主要來源于芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。半導體行業廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。采用化學洗滌塔加活性炭吸附催化燃燒等解決方案。